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上海-等離子清洗機-RF射頻故障專業(yè)維修

發(fā)布者:YX    來源:上海仰光電子科技有限公司     發(fā)布時間:2023-3-21

上海-等離子清洗機-RF射頻故障專業(yè)維修

上海-等離子清洗機-RF射頻故障專業(yè)維修

RF射頻故障:

RE射頻故障是真空等離子清洗機最常見的故障之一。其表現(xiàn)現(xiàn)象一般分為:反射功率大,無輸出功率。

1.反射功率大

反射功率大一般屬于匹配問題,一般情況下,若飄移不大,可通過設(shè)備的調(diào)節(jié)開關(guān)調(diào)整到允許范圍內(nèi)。但下列現(xiàn)象沒有辦法通過調(diào)節(jié)開關(guān)調(diào)到允許范圍之內(nèi):匹配命令發(fā)出之后調(diào)整電機不轉(zhuǎn)、電容葉片變形卡住、位置電位器壞,位害電位器軸回緊質(zhì)螺釘松動,齒輪禁揾等情況只能打開匹西箱進行相應(yīng)位害的調(diào)整及維修。

2.無輸出功率

首先在射頻源的輸出接上50Ω的假負載,以此判斷是射頻源問題還是射頻源之后的故障。若是接上假負載以后功率指示為零,說明射頻源有問題,維修射頻源。若接上假負載后功率指示不為零,說明射頻源完好,可檢查射頻線纜是否短路、腔體是否污染等。

真空問題:

等離子清洗機直空系統(tǒng)的好壞,是影響清洗質(zhì)量的重要因素之一,對真空系統(tǒng)的保養(yǎng)維護主要從以下幾個方面入手:

(1)定時檢查真空度,及時更換各個連接處的密封圈。例如刻蝕腔體和預(yù)真空室隔離門,由于經(jīng)常開合。很容易導(dǎo)致密封圈磨損而漏氣,應(yīng)及時更換。

(2)定期保養(yǎng)真空泵組,真空泵組由機械泵和分子泵組成。應(yīng)經(jīng)常檢查機械泵和分子泵的油面是否在廠家標(biāo)定的最高允許液面和最低允許液面之間。平時多留意機械泵的抽速,一日機械泵抽速變慢,要及時檢查機械泵,否則很容易引起分子泵故障。

熟練掌握真空等離子清洗機的原理與組成構(gòu)造,掌握影響等離子清洗工藝的各方面因素,可以極大的縮短設(shè)備故障后的修復(fù)時間。另外,定期對等離子清洗設(shè)備進行保養(yǎng)也是保證設(shè)備穩(wěn)定的一個重要手段。

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