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激光干涉儀常見四種故障原因排查與檢修

發(fā)布者:YX    來源:上海仰光電子科技有限公司     發(fā)布時間:2023-4-21

激光干涉儀常見四種故障原因排查與檢修

激光干涉儀常見四種故障原因排查與檢修

1、干涉環(huán)不圓正

原因:

(1)分光板膜層面反向。

(2)兩組出射光瞳錯位。

(3)分光板、補(bǔ)償板、移動鏡及參考鏡有壓應(yīng)力。

檢修方法:分光板膜層應(yīng)是入射光的第二面,如裝在第一面,則調(diào)出的等傾干圓涉環(huán)是直的橢圓形干涉環(huán),可旋松分光板的三只寬頭螺釘,取出分光板,反過180°重新裝入金屬框內(nèi),把三只寬頭螺釘旋到原來的壓緊力。分光板調(diào)整請參考故障檢修方法。分光板,補(bǔ)償板的寬頭螺釘,移動鏡及參考鏡的調(diào)節(jié)滾花螺釘壓緊 力過大,使各鏡片逐步變形產(chǎn)生等傾干涉圓環(huán)不規(guī)則,適當(dāng)放松過緊的 螺釘即可消除。

2、讀數(shù)空位大于 0.03mm

原因:

(1)傳動螺母和絲桿的配合間隙大。

(2)拖板體下面的頂塊間隙偏大。

(3)檔板與導(dǎo)軌配合過松。

檢修方法:可先調(diào)整頂塊間隙,拖板體在工作狀態(tài)下旋松頂塊螺釘,左手大拇 指將拖板體向讀數(shù)頭方向輕推,中指壓緊頂塊,然后固緊頂塊螺釘。如果仍未達(dá)到要求,調(diào)整檔板與導(dǎo)軌的間隙達(dá) 0.02mm,再調(diào)節(jié)傳動螺母上 的兩只螺釘(老產(chǎn)品有四只)。

3 轉(zhuǎn)動粗動手輪時拖板不走。

原因:

(1)儀器受強(qiáng)烈沖擊后,絲桿向尾架方向脫出,造成讀數(shù)頭嚙合齒輪錯位。

(2) 傳動小齒輪固緊螺母松動, 造成傳動小齒輪與絲桿打滑。

(3)大齒輪及粗動手輪的壓緊螺母松動。

檢修方法:首先檢查粗動手輪壓緊螺母,然后檢查精密絲桿是否向尾架方向脫出,如已脫出,可松動尾架三只螺釘,一面將絲桿推向讀數(shù)頭,一面慢慢轉(zhuǎn)動粗動手輪,最后旋緊尾架三只螺釘,如果是小齒輪固緊螺母和大齒輪固緊螺母松動,先拆去傳動盒蓋,再拆下門字架,固緊螺母,重新依次裝配即可。

4、轉(zhuǎn)動微動手輪時拖板不走。

原因:

(1)傳動小齒輪壓緊螺母松,使盆形彈簧片無壓緊力,造成 蝸輪空轉(zhuǎn)。

(2)粗微動有脫開機(jī)構(gòu)的干涉儀,蝸桿壓緊彈簧片失靈。

(3)微動手輪壓緊螺母松。

檢修方法:先檢查微動手輪的壓緊螺母。然后打開傳動盒蓋,取下門字架,旋緊傳動小齒輪壓緊螺母,使盆形彈簧片壓緊蝸輪,此時轉(zhuǎn)動蝸輪應(yīng)帶動精密絲桿,依次裝好拆下的另件。 如果是脫開機(jī)構(gòu),應(yīng)檢查蝸桿拖板是否已被壓死。如被壓死,可拆 下左右壓塊,清洗、上油(7101 油脂)重新裝配即可,如蝸桿拖板較松,說明蝸桿拖板的彈簧壓力減小,(1)可拆下彈簧改小 R 增加彈性。(2)調(diào)換彈簧片。



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