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德國Diener等離子表面處理儀Femto真空泵過載維修

發(fā)布者:YX    來源:上海仰光電子科技有限公司     發(fā)布時(shí)間:2023-8-4

德國Diener等離子表面處理儀Femto真空泵過載維修

德國Diener等離子表面處理儀Femto真空泵過載維修

一、真空泵過載解決

1、出現(xiàn)此情況請首先觀察系統(tǒng)參數(shù)有無變化,設(shè)備突然斷電會(huì)引起系統(tǒng)參數(shù)歸零,導(dǎo)致設(shè)備出現(xiàn)此類報(bào)警;

2、如系統(tǒng)參數(shù)無變化,請確認(rèn)熱繼電器是否自動(dòng)保護(hù),按復(fù)位鍵,然后啟動(dòng)真空發(fā)生系統(tǒng)。如沒有自動(dòng)保護(hù),請檢查電氣線路有無斷路或短路情況;

3、檢查導(dǎo)線是否有斷路或短路情況。

二、真空泵機(jī)械故障解決

1、所處理產(chǎn)品有嚴(yán)重滲氣情況,真空倒計(jì)時(shí)時(shí)間設(shè)備較短,無法在設(shè)備時(shí)間內(nèi)抽到背底真空;

2、檢查真空門是否關(guān)到位;

3、逐級檢查真空系統(tǒng)中各連接點(diǎn),看是否有管道連接不良或損壞;

4、真空泵故障,需檢查保養(yǎng)真空泵。

 

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