英福康Inficon冷媒檢漏儀HLD5000故障現象的維修方法
1、內漏
當檢漏儀內部發(fā)生泄漏時，會對檢漏工作造成很大的干擾，容易造成誤檢和誤判。各部件接口處的密封件。如放大器與質量室接口、離子源與質量室接口、分子泵與質量室接口、標準泄漏與閥門組件、真空計與閥門組件之間的橡膠圈密封，采用氦注入法尋找泄漏點，更換密封。
2、背景信號不穩(wěn)定
1） 如果背景信號過高，可能是環(huán)境背景受到污染。注意檢查房間是否有氦源泄漏。打開房間門窗通風，減少環(huán)境背景。
2） 也可能是由于質譜室的污染，背景信號太高。如果檢漏儀經常檢測到被檢部位有油污、灰塵等雜質較多，質譜儀室很容易被污染，需要返廠清洗。背景信號不穩(wěn)定。檢查電源電壓是否穩(wěn)定。檢漏儀應可靠接地。
3） 背景信號不穩(wěn)定，檢查泵油是否混濁污染。
3、設備分子泵不啟動
分子泵不啟動，主要檢查電源和前級真空是否正常（更常見的是前級真空機械泵故障或無法打開導致分子泵無法啟動）。或者分子泵本身被振動和灰塵污染損壞。
4、設備質譜室工作不正常
在確認機械泵和分子泵處于正常工作狀態(tài)后，如果燈絲仍不能發(fā)射離子電流，則需要更換離子源。
5、前級機械泵工作不正常
主要是觀察泵油的顏色是否正常，灰塵污染會使油變黑，水蒸氣使油變白，從而導致機械泵的不正常運行。此外，溫度過低會增加機械泵油的粘度，使其無法起動。溫度過高也會使機械泵產生熱保護而停止工作。最好使用+10到+40之間的機械泵環(huán)境溫度。
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