圖 角度比較儀(測量步距約為0.001“)
成立于1889年德國柏林,在高精位置測量和控制技術領域處于領導地位,HEIDENHAIN擁有研發(fā)和生產(chǎn)測量設備和數(shù)控系統(tǒng)的豐富經(jīng)驗和專業(yè)知識,專業(yè)研發(fā)和生產(chǎn)高質量直線光柵尺和角度編碼器、旋轉編碼器、數(shù)顯裝置和數(shù)控系統(tǒng)。
基本原理和制造工藝
海德漢產(chǎn)品的高質量源自特殊的生產(chǎn)和測量設備。光柵尺的母模版和基體是在專門設計的有特殊溫度調控和減振措施的超凈車間中生產(chǎn)的。海德漢開發(fā)和制造直線光柵尺和圓光柵碼盤生產(chǎn)和測量所需的幾乎全部設備,包括刻線機。我們?yōu)橛脩籼峁┐罅扛叨葌性化的直線和角度計量解決方案,充分體現(xiàn)我們的超強競爭能力。在眾多應用中,我們的產(chǎn)品還被大量應用在為標準實驗室設計研制的測量和檢驗設備上,我們的角度編碼器已應用在天文望遠鏡和衛(wèi)星接收天線上。毫無疑問,海德漢的標準產(chǎn)品也受益于其中所積累的知識和經(jīng)驗。
高精度光柵:高精度的基礎
海德漢公司光棚尺或編碼器的核心是我們的測量基準,通常為0.25μm至10μm線寬的光柵尺。這些高精度的光柵尺采用海德漢公司發(fā)明的光刻工藝生產(chǎn) (例如DIADUR或METALLUR),它是編碼器功能和精度的決定性因素。光柵是由一系列等間距排列的刻線和狹縫組成,其間距誤差極小,刻線邊緣整齊清晰。這些光柵尺能抵抗機械和化學以及振動和沖擊的影響。所有測量基準都具有可定義的溫度特性。
DIADUR
DIADUR精密光柵是在基板上沉淀一層極薄的鉻,基板通常為玻璃或玻璃陶瓷材質。這種光柵尺精度可達到微米級或亞微米級。
METALLUR光柳尺具有獨特金反光層的光學材料,接近為全平面結構。因此抗污染能力強。
相位光柵
采用特殊制造工藝生產(chǎn)的三維結構光柵,具有特定光學特性。這種結構的光柵寬度只有幾微米至四分之一微米。
SUPRADUR工藝生產(chǎn)的光柵的光學特性類似于三維結構的相位光柵,但它具有平面結構,因此具有超強的抗污染能力。
OPTODUR
OPTODUR光刻工藝生產(chǎn)的光柵具有極高反光率。它由光學三維結構構成,其平面結構類似SUPRADUR光棚。MAGNODUR微米級磁膜構成的精細磁柵。
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