MKS電容薄膜規真空計維修 631D13T8FPBB故障維修
一、排氣口冒煙或者噴油
1、冒煙：若為泵開始運轉有冒煙的現象，屬正常現象，若長時間冒煙則不正常。冒煙說明泵的進氣口外，包括管道、閥門、容器有泄露真空的狀態存在。
2、噴油：進氣口外有大量的漏點，甚至暴露大氣。封住泵的進氣口使泵運轉，若不噴油，說明有漏點；檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥片。
二、噪音
1、敲缸：不規律的響聲，似金屬敲打聲音。可能為泵內沒有油，或泵油進入過多水氣，或泵內油路不通造成。檢查泵油位是否正常；排出泵油，觀察油內是否含有大量水，若含有大量水，請更換新油；拆開泵對泵的每一個模塊上的小孔用壓縮空氣吹掃。
2、排氣閥片噪音：排氣閥片破損。更換好的排氣閥片。
三、真空度下降
1、泵油的牌號和原先的不一樣：根據產品的型號規格更換正確的新真空泵油。
2、泵油乳化變色，或過臟：放干泵油，更換同類型泵油，將氣鎮閥調節至“II”檔位，泵運行2-4小時，并解決被抽氣體中水蒸氣和雜質不進入泵內。
3、被抽氣體的溫度可能過高：降低氣體溫度。
4、泵內的油路不通或者不暢，泵腔內沒有保持一定量的油量：檢查油路是否暢通，并加同類型真空泵油。
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