離子濺射儀的原理常見故障及解決措施
一，離子濺射儀常見故障：
1.使用一段時間后，濺射電流變小：對靶材有無變色、破裂和油污等現進行檢查，若是靶材變色或破裂，要對靶材進行更換；若是有油污，則用無水乙醇進行清潔，等到干了以后才能夠抽真空；
2.在使用一段時間以后，有著過低的真空：檢查濺射室中或管道內是否有油，可以使用汽油進行清洗；
3.濺射電流不穩定忽高忽低：陰極罩與靶的固定環有著過近的距離，將陰極罩逆時針旋轉，對間距進行調整；
4.過低的真空：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊；
5.真空泵出現反油現象：機械真空泵長期保持極限真空。
二，離子濺射儀抽不上真空的故障
1.首先檢查真空泵排除基本可控情況，聽真空泵的聲音是否異常，如無異常檢查真空泵引線和電磁閥引線的插頭處是否連接正常，插頭里的排針有誤脫落或者接觸不良。檢查真空泵的與真空管道的連接，管道應于真空泵的進氣口連接，不要誤接到排氣口。
2.檢查上蓋和玻璃鐘罩是否放端正，玻璃鐘罩和下底盤的邊緣基本平齊，上蓋和鐘罩不能有錯位。真空管道與儀器接口處的卡箍或者喉箍是否卡緊。開機，如果真空表還是沒有走動，請立即關機。繼續做排除工作。
3.用kF16的盲堵配合KF16的橡膠圈（沒有可用橡皮塞代替），將儀器下底盤的真空排氣口堵住，開機，觀察真空表是否走動。
三、真空表打表
1.真空表向左或者向右打表，可以拆開前面板，找到一個白色8芯插座，看插座是否接觸不良。如果仍然打表，可將真空規管的黑色插頭拔掉，看是否打表。
四，真空忽高忽低
1.將真空室里的樣品取出，并清理真空室，空機試一次。
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